Centro de Nanociencias y Micro y Nanotecnologías
Centro de Nanociencias y Micro y Nanotecnologías
¡Bienvenidos al Laboratorio Nacional de Micro y Nano Tecnologías (LNunT)!
El Instituto Politécnico Nacional (IPN) cuenta con un Cuarto Limpio clase 100, localizado en la Subdirección de Micro y Nanotecnologías del Centro de Nanociencias y Micro y Nanotecnologías (CNMN). Las instalaciones de este laboratorio cuentan con filtros ULPA (Ultra-Low Particulate Air) para filtrar el aire de partículas de hasta 0.1 micrómetros y proveer de un flujo de aire laminar en un área de 200 m2. Este laboratorio tiene el propósito de impulsar la investigación en los campos de la microelectrónica, la nanotecnología, los MEMS, las celdas solares, los dispositivos de película delgada, los sensores y otras áreas que requieren un ambiente libre de partículas.
Nuestro laboratorio tiene la misión de brindar las facilidades de acceso a su infraestructura de cuartos limpios a la comunidad científica del país para incentivar el desarrollo de micro y nano dispositivos electrónicos de propósito específico.
Sí tienes interés en conocer y utilizar nuestra infraestructura para el desarrollo de tus proyectos de investigación, desarrollos tecnológicos y/o tesis de posgrado. Puedes realizar una visita guiada, recibir una capacitación o comenzar a fabricar.
Apoyos que brinda nuestro laboratorio
- Preparación de muestras en Cuarto Limpio clase 100.
- Escritura de patrones micrométricos con resolución de hasta 5um.
- Exposición y alineación de máscaras de fotolitografía.
- Procesamiento húmedo de materiales (limpieza, ataque químico, revelado de fotoresinas).
- Depósito de películas delgadas de materiales por sputtering, evaporación de haz de electrones, evaporación resistiva, por capas atómicas y/o spinner.
- Ataque por iones reactivos en plasma de oxígeno o aire.
- Alambrado de dispositivos.
- Microscopia óptica de dispositivos semiconductores.
- Caracterización de espesores por perfilometría.
- Caracterización eléctrica (I-V, C-V) de semiconductores de hasta cuatro terminales.
- Caracterización de sistemas microfluídicos.
- Impresión de microarreglos
- Microbalanza de cuarzo.
- Microscopia electrónica de barrido y análisis elemental.
- Amplificación de productos de PCR.
- Asesoría en el diseño, fabricación, caracterización y análisis de resultados de micro y nano dispositivos electrónicos.
- Capacitaciones, cursos, talleres, presentaciones y visitas.
Depósito de películas delgadas
Sputtering V3
ALD 150LE
Evaporador D18
Spinner Cee
SonoPlot® Microplotter II
Fotolitografía
Heidelberg DWL66FS
Spinner Laurell 650
EVG620
Ataque por Plasma
RIE3000
Empaquetado
Alambradora Hybond 626
Procesamiento Húmedo
Campana de Ácidos y Bases
Campana de Revelado
Campana de Solventes
Procesamiento Térmico
Horno MTI
Mufla Thermo Scientific
Caracterización
Keithley 4200 SCS
Perfilómetro Dektak 150
Resistividad por 4 puntas
Microscopia Óptica
Microbalanza de cuarzo Q-Sense E-4
qPCR
Sistema controlador para microfluídos Fluigent MFCS
Microscopio electrónico de barrido FEI Quanta FEG250
Requisitos de acceso
El investigador o investigadora debe realizar una solicitud de apoyo en formato libre (se adjunta ejemplo) de manera digital o de manera presencial. Una vez recibida su solicitud, se programará una reunión en conjunto con las y los especialistas de la subdirección en donde se analizarán detalles específicos y se le indicará si debe cubrir algún costo de los consumibles. Al finalizar este proceso, se le entregará un dictamen de factibilidad y una propuesta de trabajo.
Contacto
Dr. Cuauhtémoc León Puertos
Subdirector de Micro y Nanotecnologías
cleon@ipn.mx
Teléfono: (55) 57 29 60 00
Ext. 57522
