Laboratorio Nacional de Micro y Nanotecnología

Laboratorio Clase 1000

Aplicaciones

  •  Albergar equipos enfocados a la fabricación de micro y nano- dispositivos
  • La integración de dispositivos micro/nano - electromecánicos (MEMS y NEMS)
  • Biomicro / nano- electromecánicos (bioMEMS y bioNEMS), 
  • Lab-on-chips.

Responsable del laboratorio:

Dr. Miguel Ángel Alemán Arce

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Laboratorio Clase 100

  • Limpieza de sustratos.
  • Depósito de materiales.
  • Fabricación de mascarillas.
  • Fotolitografía.
  • Remoción de materiales (ataque húmedo y seco).
  • Caracterización eléctrica.
  • Perfilometría. 
  • Impresión de microarreglos.
  • Escaneo de micro arreglos.
  • Caracterización de sistemas de microfluídica.

Responsable del laboratorio:

Dr. Miguel Ángel Alemán Arce

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Escritor de máscaras para fotolitografía

Aplicaciones

  • Fabricación de dispositivos y circuitos de propósito específico.
  •  Fabricación de sistemas micro electromecánicos, sensores, micro fluidos y todas aquellas aplicaciones que requieran microestructuras.

Responsable del equipo:

Dr. Norberto Hernández Como

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Sistema de Alineación de Mascarillas

Aplicaciones

  • Fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos
  • Desarrollo de micro y nanoestructuras, microcanales, sensores de presión, entre otros.

Responsable del equipo:

Dr. Norberto Hernández Como

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Depósito de Películas Delgadas en Alto Vacío

Aplicaciones

  • Fabricación de celdas solares y dispositivos electrónicos.
  • Microprocesadores.
  • Termopilas

Responsable del equipo:

M. en C. Francisco Javier Hernández Cuevas

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Depósito Químico en Fase de Vapor First Nano ET-300

Aplicaciones

  • Control de las propiedades eléctricas, estructurales y ópticas de los materiales obtenidos.
  • Control de las variables de los procesos de crecimiento (temperatura, flujo de gases, presión, compatibilidad con precursores líquidos y sólidos).

Responsable del equipo:

Dr. Salvador Mendoza Acevedo

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Perfilómetro Mecánico de Superficie

Aplicaciones

  • Espesor de capas.
  • Perfiles de escalones.
  • Medición de espesores nanométricos.
  • Caracterización mecánica de materiales a partir de microestructuras.

Responsable del equipo:

Dr. Jacobo Esteban Munguía Cervantes

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Escáner de Microarreglos

Aplicaciones

  • Determinación de perfiles de expresión génica para cualquier genoma secuenciado. 
  • Determinación de la variación del número de copias de secuencias cromosómicas: (Comparative Genomic Hybridization (CGH).
  • Análisis de patrones de metilación de DNA mediante microarreglos de islas CpG.

Responsable del equipo:

Dra. Haydeé González Martínez

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Microbalanza de cuarzo Q-SENSE

Aplicaciones

Dispositivo altamente sensible que analiza las pequeñas variaciones de masa que en ella ocurren. Esto se debe a los cambios que experimenta la frecuencia de resonancia (f0) del cristal de cuarzo en tiempo real. La microbalanza de cuarzo tiene la ventaja de hacer diferentes tipos de análisis de datos ya sea de manera cualitativa sin formato o cuantitativamente para película rígida (Low D), el modelo de Sauerbrey, o película suave (High D) Modelo visco-elástico

Responsable del equipo:

Dra. Haydeé González Martínez

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